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spectra在線膜厚測(cè)量裝置技術(shù)分析
使用小型卡爾蔡司光譜儀，根據(jù)形狀和尺寸對(duì)每種應(yīng)用進(jìn)行樣品包裝。
從薄膜和圓盤(pán)形狀到玻璃板和圓柱狀物體，如果同時(shí)使用顯微光學(xué)系統(tǒng)，則可以將光線縮小到細(xì)點(diǎn)，并輕松測(cè)量樣品的薄膜厚度。
硅、氧化硅、氮化硅
砷化鎵
二氧化鈦
光刻 膠
染料膜、油膜和彩色濾膜
影片
涂料和粘合劑
紫外光固化樹(shù)脂
金屬氧化膜、介電膜
聚合體
空氣層
光盤(pán)、中藥、光盤(pán)
| 測(cè)量厚度范圍 | 0.5-100um（光學(xué)厚度）實(shí)際厚度是將上述除以折射率得到的值 |
|---|---|
| 保障 | 區(qū)域傳感器、急停開(kāi)關(guān)、聯(lián)鎖 |
| 測(cè)量時(shí)間 | 15分鐘，1200毫米 |
| 權(quán)力 | AC100V?50，60Hz?5A以下 |
| 測(cè)量位置 | 設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間，間距為 1 mm |
| 寬度分辨率 | 0.1-200mm可任意設(shè)定 |
| 寬度位置精度 | ±0.02毫米 |
| 設(shè)置波長(zhǎng)范圍 | 400-1000納米 |
| 設(shè)置發(fā)光部分 | 5倍物鏡 |
| 測(cè)量光斑直徑 | φ1毫米 |
